二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7821 #293665721 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是一种设计用于溅射和化学气相沉积（CVD）工艺的高性能反应器。它是一种垂直设备，配有直径6英寸的腔室和由三相输入供电的28千瓦变压器。AMAT AMC 7821具有车载涡轮泵和高效泵送系统，可快速实现用户设定的处理压力。它还具有一个石英晶体压力传感器，用于监测操作过程中室内的压力。这样可以确保一致地实现所需的工艺条件。反应堆还包含一个圆柱形上柱、圆柱形下柱和一个聚乙烯薄膜窗。它也有一个开放式的目标，允许从目标基板的两侧溅射。APPLICED MATERIALS AMC 7821提供快速的温度上升和冷却能力，使其能够在高达800°C的温度下加工。它有一个集成的温度控制器来监视腔室温度并确保温度保持在所需的水平。反应堆装有计算机控制的气体单元，有两个入口和两个出口。这允许用户将反应物的流量控制在1 SCCM（标准立方厘米每分钟）以内。AMC 7821提供各种尺寸和选项。它可以作为独立的机器使用，也可以集成到现有的工艺线中。反应堆还可以针对包括金属、陶瓷和硅片在内的多种基板进行定制。它能够处理广泛的材料，包括导体、半导体、磁性材料、介电材料和氮化物。AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7821是那些在薄膜沉积、光伏技术、MEMS、纳米技术等具有挑战性的应用中寻求可靠、持久性能的人的理想选择。它非常可靠、易于维护,并且经过专业设计,能够快速高效地完成工作。