二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9309116 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一个专用的等离子体反应器，设计用于大批量生产先进的纳米结构和装置特性。它是一个集表面活化和等离子体沉积两种真空处理技术于一体的独立平台。AMAT Centura DPS G5反应堆由各种部件组成，如低压等离子体源、特性显示、晶圆传输、环境系统和化学输送单元。低压等离子体源用于生产用于等离子体加工的反应性物质。最高可发射至4 mtor的操作压力。这些功能显示，包括电源和频率控制，用于调谐等离子体反应器的最佳运行。这种显示还允许完全定制反应堆的参数。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5的晶片传输部分设计用于将晶片从晶片加载器安全可靠地传输到等离子体腔，同时保持最佳热性能。这种传输还包括带有晶圆加载盒式磁带的手套箱接口、真空隔离阀和光学传感。Centura DPS G5的环境机器在全自动且易于使用的工具中提供反应气体、自适应等离子体功率控制、背景气体切换以及配方。该资产确保了最高质量和最可重复的等离子体蚀刻过程。DPS G5的化学递送模型由化学剂量歧管组成，能够精确地向生产区域供应化学物质。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5由于其坚固的微基板平台和双真空处理技术，以高效的成本提供了可重复和可控的工艺。这种反应器能够快速蚀刻、沉积和清洁金属、氧化物、氮化物等，以行业领先的速度精确精确。其用户友好的控制面板、完整的软件集成和网络连接使用户能够在易于访问的界面中保持一致的过程。