二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379814 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS G5是一种性能极佳的300 mm硅晶片系列反应器，旨在实现最先进的器件结构。用于处理多晶硅等材料，以及高温至800oC的氧化物、氮化物和硅化物。与任何其他反应堆相比，AMAT Centura DPS G5具有优化的晶圆直通装置。它采用数字过程控制（DPC）技术，通过数字控制实现高可重复性精度，以稳定腔室环境。AMAT Centura还拥有快速倾斜功能,可最大限度地减少热量预算并提高流程可重复性和除气时间。应用材料Centura DPS G5提供雾化活化等离子体,用于将氧化物和氮化物还原为催化形式以进行CVD集成。这一特点使反应堆通过高度均匀的工艺气体分配、快速响应时间和对膜厚度的精确控制，实现生产线性能的提升。该反应器具有直接驱动直线执行器，对先进的双层沉积过程具有更高的精度和可重复性。这些反应也通过使用快速反应的RF/等离子体系列具有优越的清除控制。Centura DPS G5有一个双基板加热器选项，它允许高温和高压反应扩展数量的晶圆。它还具有具有DDR载荷/卸载特性的石英或氮化硼敏感剂，以减少晶圆的反向迁移和空气暴露。它具有过程配方控制功能，保证过程的可重复性、均匀性和可重复性。此外,还实现了优化的晶片到晶片分布和工艺性能,并具有卓越的工艺质量。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一个可靠的高级沉积系统,非常适合制造高性能的高级IC和半导体器件结构。其精密的设计和各种可编程的特性使其成为当今业界最先进的沉积系统之一。