二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379816 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一种最先进的反应堆，用于沉积、蚀刻和植入各种材料。它提供了一个强大的模块化设计建立在最新的光刻和蚀刻技术。这种最先进的反应堆非常适合半导体加工。DPS G5是围绕一个管状的内部体积构架，其中包含腔室和加工气体。该室设有一组高速转子，装有各种离子束。DPS G5中的这一特性有助于通过等离子体和/或离子植入靶向材料，从而降低能耗。离子束的范围包括氧离子和氮离子，它们能够将这些材料植入基材中，用于广泛的应用，例如半导体器件的制造。DPS G5具有许多集成到系统中的过程控制模块。其中包括一个闭环沉淀室、多个真空泵和一个自动质量流控制器。利用这些内部控制系统，DPS G5能够精确调节工艺气体的质量流量、压力和温度，同时实现最佳控制和可重复性。该反应堆能够提供较高的性能速率和较高的吞吐量速率。DPS G5具有多种insitu诊断功能，如光谱学、工艺参数测量和等离子体控制。这个insitu诊断与机载自动化过程控制相结合，以精确的操作基板的表面。AMAT Centura DPS G5还设计用于易于维护。反应堆包含多个快速更换工具和模块，使其更容易进行定期维护，例如更换过滤器和刀具。在性能方面，DPS G5能够对多种材料进行蚀刻、沉积和植入，包括金属、陶瓷、塑料和各种半导体材料。它能够在高温和高压下以及在超高真空条件下进行工艺。总而言之,APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是各种材料加工应用的绝佳选择。