二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379820 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一种高性能反应堆,旨在最大限度地提高生产率和降低成本。它是利用双等离子体源(DPS)技术的单晶圆、高生产率、直联设备。该系统基于双频、射频驱动等离子体源,能够在高压和高温下产生高密度等离子体。DPS技术有助于创建等离子体在晶圆上的不同气体剖面分布。双气体喷射装置有助于确保均匀性和模式化,增加整个晶片的蚀刻均匀性。机器还有一个集成的等离子体监控工具,有助于保持一致的轮廓。反应堆还采用模块化架构设计,允许对其进行配置和重新配置,以适应不同的工艺要求。此模块化设计还有助于减少停机时间并加快流程开发。反应堆还具有广泛的工艺能力,从低压工艺到高功率工艺。它的模块化设计还允许多种配置和工艺选项,使其成为生产和开发的理想工具。AMAT Centura DPS G5是高级应用程序的理想工具,需要高精度、高吞吐量和跨晶圆的均匀性。
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