二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J #9389976 待售
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已售出
ID: 9389976
WCVD System, 8"
(2) Pressers
(2) MITSUBISHI Diamond scan monitors
Monitor box
Generic LCD Unit
(2) Step tools
Cables included
Missing parts:
(2) RF Matches
(2) Heaters
(4) Lift Pins
SBC
Heater driver
NESLAB H-EX Chiller
Dry pumps
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J是一种最先进的多室金属有机物化学气相沉积(MOCVD)反应器,设计用于生产高纯度、高性能半导体材料的薄膜和层,如砷化氙(GaAS)和磷化铵(Gosphide)。AMAT P5000 Mark II-J可以将材料层沉积到直径达4.7英寸的晶片上,并提供多种工艺气体和温度。APPLICED MATERIALS P5000 Mark II-J的橱柜式垂直设计提供了多种配置,包括单蓄电池和环形反应堆。其先进的热控工艺技术在高达1100C的温度下运行,以实现超厚、低缺陷的薄膜。P5000 Mark II-J是为最大产量而设计的,通过使用先进的部件和优化的气流提高了吞吐量和容量。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J也有几个功能来确保准确的过程结果。热传感器阵列测量沉积室的温度,并被编程为在晶圆表面保持精确控制的均匀温度。集成闭环气体反馈系统提供可靠、准确的过程控制,有助于确保可重复的结果。AMAT P5000 Mark II-J还提供了一系列先进的安全功能,如高温关闭阀和排气筒,用于清除沉积过程中产生的气体或蒸气。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II-J可以在直接或远程模式下操作,给用户一定程度的灵活性。内置加热器和风扇在运行过程中提供额外的安全性。综上所述,P5000 Mark II-J是一种高度先进和可靠的MOCVD反应器,旨在生产高纯度、高性能半导体材料的薄膜和层。它提供了广泛的工艺气体和可控温度,以及诸如热传感器阵列、闭环气体反馈系统以及内置加热器和风扇等功能,以确保操作安全。
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