二手 ULVAC IBS #9062038 待售

ULVAC IBS是一种具有增强离子束质量的低压、高密度离子束源，具有优化的磁绝缘离子光学设备。IBS设计用于广泛的离子束应用，如特高压溅射、离子植入、SIMS、EBIS等，并利用独特的磁场构型来控制和操纵离子轨迹。ULVAC IBS核心由两个主要组成部分组成。第一种是装有推进器枪、液态金属离子源和荧光屏的离子源室。推进器枪通过轰击具有高能电子的材料来产生离子，而液态金属离子源（LMIS）则产生能量扩散较低的稳定、均匀的离子束。LMIS使用低粘度的液态​​的移液离子流产生离子流，然后被荧光屏制服，产生所需的束流。IBS的第二部分是离子光学系统。此单元由几个不同的磁体组成,这些磁体会建立一个3D磁场来控制和塑造离子束。这些磁体是三个修剪线圈、螺线管和电子抑制线圈的组合，它们都协同产生稳定的离子路径，使光束集中在目标样品上。离子源和离子光机的结合保证了高质量稳定的离子束。它也允许高电流密度的离子束在毫安每cm2范围内，这是理想的高离子电流应用。磁场也增加了离子束的效率，并且可以调整以产生不同的束特性，例如球形和近各向同性发射。ULVAC IBS还具有高效泵送离子源腔室、改进的操作控制工具和先进的诊断能力。所有这些特性共同使IBS成为最可靠、最健壮的离子束源之一。该装置能够承受最苛刻应用的严谨，适用于各种工业和研究应用。