二手 STANFORD RESEARCH SYSTEMS / SRS RGA 100 #9185681 待售
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STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA 100是为在半导体和真空处理设施中进行高分辨率分析而开发的先进残留气体分析仪。这种装置结合了质谱仪和涡轮泵浦残留气体分析仪,可以同时测量总压和分压。分析仪具有加热机制,使其能够测量氧气和二氧化碳等挥发性成分,以及低分子量的碳氢化合物和水。此外,SRS RGA 100还包括一个内置的飞行时间质量分析仪,可提供对痕量气体的高分辨率测量。分析仪还具有-25至+200摄氏度的温度范围,压力范围为10-7至0.1托。STANFORD RESEARCH SYSTEMS RGA100利用4 x 450mm的中区漂移管和离子源,结合电子倍增器探测器和离子模式选择器。对中区漂移管进行了优化,以测量残留气体含量低,总体目的是获得高精度、可重复的结果。此外,SRS RGA100还配有两个流量控制器,使用户能够设置样品气体的压力和流量。流量控制器还包括一个手动阀门,让用户进一步精确控制样品气体压力需求。RGA 100还有一个内置的真空接口,允许通过真空系统远程操作设备。此外,设备还具有节能功能。不使用Analyzer时,功耗将自动降低到较低的水平,直到用户再次请求数据。此外,RGA100还配备了板载PC,它允许用户友好的界面,并以各种格式显示数据,从简单的图形到详细的表格信息。由于STANFORD RESEARCH SYSTEMS RGA 100是一种高级分析仪,它还包括自动调试以获得最佳结果并确保正确测量气体。为帮助优化性能,STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA100具有低初始背景、低采样压力和高灵敏度。此外,Analyzer包含一个数字锁定放大器以提高信号稳定性,以及一个允许测量电子电荷的"法拉第杯"。总体而言,STANFORD RESEARCH SYSTEMS/SRS RGA 100是一种先进的残余气体分析仪,设计用于半导体和真空处理设施的高分辨率分析。该装置结合了质谱和涡轮泵浦残留气体分析仪的各个方面,在各种温度和压力下产生准确和可重复的结果。此外,SRS RGA 100还包括内置功能,如飞行时间质量分析、流量控制器以及确保最佳性能的节能模式。
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