二手 HITACHI S-9380 #9167160 待售
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ID: 9167160
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CD Scanning electron microscope, 12"
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2004 vintage.
HITACHI S-9380是一种扫描电子显微镜(SEM),设计用于高分辨率成像和表征在一系列应用中。它配备了高灵敏度多探测器(HSMD)技术,允许低放大成像、高分辨率成像,同时使用电子反向散射衍射(EBSD)和能量色散X射线光谱(EDS)测量。这使得HITACHI S9380一种通用的仪器,可以提供分析信息以增强成像能力。S 9380能够在低放大倍数下与二次和反向散射电子进行低至8 nm分辨率的高分辨率成像。这种分辨率是由于显微镜电子枪的高亮度、高稳定性和高分辨率而实现的。在高放大倍数(最大为1000x)的情况下,电子探针的直径可能小至0.3 nm。探测器电流会自动调整以提供尽可能高的分辨率。SEM配备了一个底压为1 x 10-7 Pa的真空室,允许观测原本会被电子束损坏的非导电样品。腔室还有一个自动气体注入系统,允许引入惰性气体,以提高真空稳定性,减少样品的充电。HITACHI S 9380也可用于在成像时进行EBSD和EDS测量。在进行EBSD测量时,检测器对所观察到的材料样品表面的晶体结构和方向都敏感。也可用于测量样本中的定性和半定量元素分布。S-9380非常适合用于材料科学、微电子学、材料反向散射、半导体表征和各种其他研究领域。使用简单,成本相对较低,提供无与伦比的分辨率和对比度。
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