二手 PHILIPS / FEI Nova NanoLab 600 #9261304 待售

PHILIPS/FEI Nova NanoLab 600是为各种纳米加工应用而设计的双束离子铣削设备。它具有先进的光学设计，允许在三个维度上精确传递强烈的离子束。该系统利用集成的静电束偏转单元将光束精确定位到样品表面上任何所需的目标。NanoLab 600使用的离子束由离子源产生，可以配置金属或气体离子源。金属离子源使用直流电弧产生低能金属离子束，如钨或金，可用于高长宽比蚀刻或纳米粉碎。气体离子源使用射频等离子体产生气体离子束，可用于高精度图样或纳米压印应用。NanoLab 600内置了一台功能强大的分析机器，能够在蚀刻前后对样品进行半导体表征。该工具利用集成扫描电子显微镜（SEM）、电子反向散射衍射（EBSD）、能量色散X射线（EDX）光谱和透射电子显微镜（TEM）来更准确地表征和控制蚀刻过程。集成的SEM也可用于蚀刻过程中对样品的原位观测。NanoLab 600具有直观的控制界面,可轻松设置和操作资产。用户可以使用直观的图形用户界面对各种各样的纳米加工任务进行编程，如蚀刻和铣削。该模型还提供了对蚀刻过程的实时分析以及一套用于进一步分析的后处理工具。NanoLab 600是一款功能强大的设备,提供出色的离子铣削和纳米加工功能。它可以用于多种应用，范围从半导体器件制造、纳米技术和微机电系统（MEMS）。其集成的分析系统、直观的用户界面和广泛的功能使其成为纳米加工应用的理想单元。