二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-07498 #201008 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-07498
已售出
ID: 201008
Chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-07498 Reactor是一种先进的半导体生产设备,用于集成电路(IC)、薄膜晶体管和其他微电子器件的制造过程。它是利用化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)在基板上沉积、蚀刻和清洗各种材料的高温炉。AMAT 0040-07498反应堆由一个四区石英管组成,其旋转敏感器位于中心,并与一个工艺气体输送设备相连。感应器使用感应线圈或电阻加热器加热。根据应用程序的不同,通常将加热器设置为600°C至1100°C的温度范围。反应堆还有一个控制腔室压力的可调节泵和一个监测机组内温度、压力和氧气浓度的系统。应用材料0040-07498反应堆的设计是为了满足在压板和腔壁的颗粒物方面的严格要求。它还提供了在工艺室内和工艺气体包括氧气、氮气、氙气和一氧化碳的卓越稳定性。反应堆还具有独特的防粘涂层,有助于防止颗粒粘在加工表面。它还提供精确的压力控制,并结合先进的再循环能力,以提高工艺产量和吞吐量。0040-07498反应堆还包括一个高级控制器,为过程的各个方面提供控制。用户可以从控制机中设置参数并监视进程。该工具可以连接到计算机和其他数据收集系统,以跟踪性能和记录过程信息。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-07498反应堆是为生产当今最先进的半导体器件而设计的高性能资产。它是制造IC、晶体管和其他纳米级器件的理想选择。AMAT 0040-07498 Reactor具有先进的工艺控制、高生产率和强大的性能,是任何半导体制造工厂的重要资产。
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