二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #140297 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE是一种计算机控制的离子植入器和监控设备，旨在为生产力和系统正常运行时间最高的半导体器件提供精确植入。它提供了先进的技术，旨在最大限度地提高植入产量和实现最有效的植入过程。AXCELIS NV GSD HE由几个模块组成，包括离子源驱动程序、束电流监控器、气体面板和过程控制单元。本机设计为与AXCELIS高电流/高能量（HC/HE）或EATON NOVA低电流/高能量（LC/HE）植入平台配合使用。离子源驱动程序是工具的核心，允许精确控制光束电流，提供精确稳定的植入过程。这允许精确的再现和低水平的植入产量。光束电流监视器可保证最高级别的稳定性和可靠性,同时提供精确的光束电流监视。通过监测植入过程的结果，它允许最大程度的精度和可重复性。气体面板允许精确控制气体流动，允许优化植入。Process Control Asset提供了对植入的快速和准确的控制,允许详细的数据记录和控制。EATON NOVA NV-GSD HE提供高级功能,例如集成故障分析系统,使操作员能够快速诊断任何设备故障的来源,以及复杂的软件工具,以便对植入过程进行精确控制。该模型具有复杂的诊断功能,可确保快速高效地解决出现的任何问题。总体而言，EATON NOVA-GSD-HE提供了精确、可靠和可重复的植入过程，是实现精确、精确设备制造产量的重要因素。它提供了先进的功能，以及可靠和高效的操作，使其成为任何半导体设备设置中必不可少的元素。