二手 KLA / TENCOR 2135 / 2138 #129087 待售

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KLA / TENCOR 2135 / 2138
已售出
ID: 129087
Theta stage, open cassette.
KLA/TENCOR 2135/2138是一种用于识别集成电路(ICs)缺陷的掩模和晶圆检测设备。其最先进的光学系统和图像处理能力使设备能够以高分辨率检查晶片和掩模。其高灵敏度CCD相机能够检测和测量图样元件,从而快速准确地发现缺陷。KLA 2135/2138可以检测边缘特征、线宽、门/接触阵列、特征内部和之间、间距、缺口和其他缺陷。它还能够测量阿尔法间距、层的对齐方式、迭加量和尺寸公差。此外,该机器还具有使用API(应用程序编程接口)进行自定义自动化的快速、完整地表征缺陷的能力。TENCOR 2135/2138具有完全集成的计量工具,具有先进的7轴级,可让资产通过变速运动访问样品的任何区域。2135/2138的能力包括检查速度快、精度高、灵敏度高、可靠性高。此外,该模型还可以对缺陷进行自动图像采集和分析以及缺陷审查和分类。设备的软件支持多种操作模式,包括单层、平板、多层和OCR(光学字符识别)支持。该系统还具有满足特定应用需求的多种选项,包括增强和边缘选项、计量和迭加功能、高级缺陷分类和复杂性分析以及可选接口包。总体而言,KLA/TENCOR 2135/2138是一个综合性的掩模和晶圆检验装置,旨在识别IC上的缺陷。它以高精度和灵敏度提供具有先进和变速运动的高分辨率成像机。它还带有多种软件功能,因此用户可以为自己的特定应用程序定制该工具。
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