二手 ANATECH / TECHNICS Hummer #9004968 待售

ANATECH/TECHNICS HUMMER是为最苛刻的薄膜研究和沉积应用而设计的溅射设备。该系统提供了一个可自定义的平台,其模块化配置可针对特定的流程需求进行定制。该单元包括一个集成溅射源、一个单源固定器、一个可调基板固定器、一个闭环腔室/过程控制监控器和一个气体进气机。集成溅射源设计为提供一个脉冲直流源，具有从0到300v直流电可调节的连续电源，而可调节的基板支架设计为提供移动直径高达150 mm的基板的灵活性，具有角度晶片和基板的特殊特性。闭环腔室控制监控器允许在压力、温度和溅射参数等一系列条件下进行闭环实时过程控制和监控。强大的溅射源设计为提供高能辉光放电等离子体和最佳溅射屈服。溅射源可以针对特定的工艺需求进行定制，如提高膜的均匀性和高吞吐量。综合气体入口工具的设计使气体易于引入，而无需额外的组件。ANATECH HUMMER资产的设计旨在最大限度地减少可能造成污染的内部部件数量,并确保可靠可靠的流程。该模型还被设计为减少粒子形成和溅射产生非均匀性。该设备具有可调的安全参数和诊断预警系统，以确保喷雾阻滞剂或其他安全关键系统随时运行。TECHNICS HUMMER单元是一个坚固可靠的溅射机，为用户提供了对过程和溅射参数的灵活性和控制性，以达到理想的沉积效果。该工具包括一个集成的溅射源、单源固定器、可调基板固定器、闭环腔室/过程控制监控器以及气体入口资产，使其能够根据特定的工艺要求量身定制。集成的安全参数、诊断预警模型、可调溅射源保证了最大的可靠性和用户满意度。