二手 BALZERS LSS 310 #9040205 待售

BALZERS LSS 310是一种最先进的溅射设备，设计用于在包括晶圆和金属在内的一系列基板上进行高精度金属化。其特点是具有超高真空底座和快速泵浦，以及低电流密度等离子体源的高质量，可重复沉积。该系统装有六个磁控管溅射源，每个腔室三个。每个腔室都有一个PVD源，有三个专用目标和一个高单侧覆盖溅射涂层。BALZERS具有基板定位单元（SPS）和自动调谐功能,可实现精确沉积。它还设计有闭环有源气体输送机，可以更精确地控制沉积过程。此外，有源热管理和有源温度再分配系统能够在广泛的温度范围内实现高效和一致的沉积。BALZERS工具还包括具有稀土磁铁的高度可靠的机械设计，用于长期稳定运行。LSS 310兼容广泛的基材形状和加工要求，例如清洁和蚀刻。它非常适合各种涂层，包括硬质、薄膜和介电层。作为一种先进的溅射资产，它还为所有溅射沉积参数提供动态控制，提供一致、可靠的受控和目标厚度水平的沉积。该模型还设计为符合人体工程学，易于使用。它配备了完全自动化的基于配方的沉积管理设备，能够有效地控制过程。故障和错误很容易识别和纠正,因为所有系统都通过单个多功能显示器相互连接。此外,BALZERS系统还具有几个数字高级通信端口,可直接将数据传输到用户的计算机,以便进一步分析和研究。总体而言，BALZERS LSS 310是一种先进可靠的溅射装置，为用户提供各种金属和合金的精确、可重复和均匀的沉积。机器的自动化沉积管理工具简化了用户体验，其先进的过程控制和有源温度再分配系统在广泛的温度范围内产生可靠、可重复的沉积。该资产适合各种研究需求，以及生产和商业应用。