二手 CANON / ANELVA 1060 #9135855 待售

CANON/ANELVA 1060溅射设备是一种高性能系统，设计用于在样品上制造厚而均匀的薄膜，用于半导体加工。该装置利用溅射（一种物理气相沉积方法）将薄薄的材料层沉积到工件表面。CANON 1060中使用的阴极产生气体放电，用热能轰击样品表面，使表面雾化并产生所需的薄膜。ANELVA 1060是一种单磁控管溅射工具，由4 kW直流电源供电。它有两个陶瓷外壳，可容纳加工室和支撑室，并具有顶部装载能力，便于样品进入。加工室能够在高达400C的温度下工作，并能达到高达1 Pa的压力，最大电压为3500 V，频率范围为5-250 kHz。该机还包括射程为100-1000瓦的可变射频目标电源和6级电源。1060具有多种特性，使其成为一种通用可靠的工具。它包括一个自动化的目标旋转电动机，并且可以很容易地配置为操作多个磁体用于溅射多个目标。该工具配有一个内置气体箱，用于提供PVD过程所需的受控大气，以及一个粒子监测资产，用于检测和跟踪任何污染沉积室的亚微米粒子，一个静电卡盘（ESC）在处理过程中保存样品，以及一个测量/控制装置，用于测量和记录温度和压力等参数。CANON/ANELVA 1060还具有多项安全功能，如直流电源自动关闭开关、紧急停止按钮、电流传感器安全切断电路和内置紧急气体关闭阀。这些安全措施有助于保护用户免受潜在损坏,并确保模型功能正常。总体而言，CANON 1060是一种功能强大且可靠的溅射设备，为半导体加工在基板上制造薄层材料提供了一种通用且高效的手段。它具有多种特点，能够实现精确的薄膜沉积和性能，内置的安全措施使其安全易用。