二手 CANON / ANELVA APT 5800 #9158870 待售

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CANON / ANELVA APT 5800
已售出
製造商
CANON / ANELVA
模型
APT 5800
ID: 9158870
PVD Systems, 8" BPSG.
CANON/ANELVA APT 5800是一种高精度、多功能的电子束处理反应器,专为沉积、蚀刻、涂层等广泛的应用而设计。这种高性能设备是电子、光学、半导体和医疗等需要精确处理的多种行业的完美解决方桉。CANON APT 5800以具有六轴控制系统的最先进的电子束枪为特色,产生高光束均匀性、近光束散度和出色的光束控制。这个引人注目的单元还包括一个通风的加热波纹管,它可以消除颗粒污染,同时保持极好的光束均匀性。其高分辨率的快速变化梁方形机提供了一个用户友好的界面,快速准确的梁对准和均匀性。ANELVA APT 5800能够同时处理多达四个不同的目标,使其高效。它还配备了先进的自动电流补偿功能,以确保所有目标位置的均匀性。APT 5800配备了静电精密滑动工具(ESP),能够精确倾斜和旋转电子束枪和目标,以提供卓越的处理能力。这允许在一次运行中以最短的转换时间完成多向处理。CANON/ANELVA APT 5800还提供多种过程控制功能,如温度控制、法拉第杯监视器和过程定时控制,这使得精确监控和控制过程的所有阶段变得容易。反应堆辅以多种辅助组件,如目标定位单元(TPU)、真空泄漏检测器(VLD)和负载锁定资产(Lold Lock Asset,LLS),旨在确保一个一致和可预测的过程。CANON APT 5800是一种可靠、坚固的反应堆,产生优异的效果,可用于各种工业环境。此模型提供了卓越的精确度、精确度和吞吐量,使其成为任何需要一对一解决方桉以满足其处理需求的人的绝佳选择。
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