二手 CANON / ANELVA C-7730FH #9167769 待售

CANON/ANELVA C-7730FH是一种溅射系统，旨在在基板上覆盖各种材料的厚膜。利用高真空室和磁控管溅射进行沉积。CANON C-7730FH高度可定制,具体取决于应用和沉积材料。它具有可编程同轴系统（PCS），允许不同类型的磁控管角度。它还配备了多个沉积源，包括热蒸发源，以允许多层沉积。ANELVA C-7730FH利用先进的Turbo分子泵（TMP）在腔室中产生真空,从而实现溅射过程。TMP能够达到从2 x 10-3 Pa到5 x 10-5 Pa的压力范围，这种压力范围允许各种类型的沉积过程，否则无法进行。C-7730FH能够创建1 nm至200 nm的薄膜厚度范围。这可以通过不同电源设置下的溅射过程来实现。PCS允许在溅射时进行精确的控制，因为磁控管可以设置在腔室内不同的角度和位置。CANON/ANELVA C-7730FH包括高度的分析能力，这是先进的溅射涂层工艺所必需的。它配备了光谱仪，可以测量薄膜的成分。它还配备了石英晶体微平衡器，可以测量沉积膜的厚度和均匀性。此信息可用于微调溅射过程,以精确创建所需的膜厚度和组成。由于CANON C-7730FH具有高度的可自定义功能,因此可以针对各种应用程序进行高度调整。它能够沉积由不同材料组成的厚膜，用于半导体器件、光学和机械元件以及其他与电子有关的元件等应用。