二手 CANON / ANELVA C-7730FH #9167770 待售

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CANON / ANELVA C-7730FH
已售出
ID: 9167770
晶圆大小: 5"
Sputtering system, 5".
CANON/ANELVA C-7730FH是为薄膜沉积而设计的溅射设备。它能够沉积从导体到半导体以及各种光学材料的各种薄膜。CANON C-7730FH系统的核心是阴极,用于引发驱动溅射过程的电离气体。这种电离气体随后被电场加速并指向目标材料。离子一旦撞击目标材料,它们就会使材料脱落,然后沉积到下面所需的基板上。ANELVA C-7730FH是一种高效的溅射装置,能够长期均匀沉积物料并保持一致的溅射物料速率。C-7730FH具有多种特点,便于薄膜沉积。该机装有可调节的旋转溅射头,允许将均匀的薄膜沉积到大的基板上,并且该工具装有减少表面电子缺陷和均匀化薄膜的"防挤压"特性。它还具有高电源,允许增加溅射功率以实现更快的生产率。另一个实际特征包括针对特定区域的各种漏斗形状。该资产包括一台车载计算机,控制整个沉积周期,从目标材料的加载和溅射头的定位,到溅射参数的选择和配方控制。这台计算机还能够存储一系列定制配方,方便调整参数以适应特定应用。CANON/ANELVA C-7730FH还包括各种诊断功能,以确保高质量控制。这包括检测溅射功率、温度和腔室压力等数据的能力,以及分析沉积图信号的能力。这样就可以对模型进行简单和高效的监测,并有助于确保对基板进行准确和一致的补偿。CANON C-7730FH是一种多功能的溅射设备,旨在为各种应用提供高质量的薄膜沉积。它提供了高效的生产率,配备了多种功能,旨在提高沉积膜的均匀性和同质性,其车载计算机允许方便配方定制和质量控制监控。
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