二手 CANON / ANELVA E-402S #9188024 待售

CANON/ANELVA E-402S是一种先进的溅射设备，用于在各种基板上沉积薄膜。它具有先进的功能和可靠的性能,非常适合用于生产高性能电子设备。佳能E-402S利用四片平面磁控管溅射头进行均匀的薄膜沉积。它还具有自动溅射高度调节器，易于处理和精确。该系统还具有双电压脉冲功率的能力，可实现精确的薄膜控制，具有尖锐的溅射速率和轮廓控制。ANELVA E-402S有一个由不锈钢构成的高真空室。它还有一个基于电源，独立的涡轮真空装置，以及一个真空互锁机，用于全面的安全控制。它提供了一系列的超声波清洗选项和25级基板加热器，一个优秀的温度控制。该工具具有高达380°C的最高典型工艺温度,包括温度监控、RF/DC小溅射、偏转校正、高速工艺和10⁻⁴ mbar的超高真空（UHV）。它还具有一个自动腔室清洁资产与先进的过滤模型彻底腔室清洗。E-402S是一个可靠和坚固的设备。它具有许多特点，使其非常适合制造高级电子元件。它允许对各种参数进行精确监控,并提供制造高性能组件所必需的各种工艺功能。