二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9018208 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是为生产高性能表面和薄膜而设计的溅射设备。它包括一个高能离子源，该源能够发射多达10kV个氙离子，一个高度精确的旋转生产目标，一个用于生产目标的旋转安装架，一个气体分配模块，一个阴极，一个阳极，以及一个现代化的控制器系统。该单元的离子源经过优化，使离子对原子的发射最大化。它能够产生极佳密度为10^14 cm-2s-1的离子束和10kV的束能量。高精度的旋转生产目标确保了沉积在基材上的材料的均匀沉积。对于不同的表面处理，如蚀刻、沉积、清洁和基板预处理，可以精确设置和控制室内的温度和大气。机器还配备了气体分配模块，负责加工气体的最终均匀性。氢气、氮气、氧气、氙气、氯气和氙气等各种气体可以用于不同的过程，具体取决于应用和基础材料。气线分布由电子控制，使整个产品的气体分布均匀。该工具还包括连接到各种外部设备的现代控制器资产。用户友好的界面提供实时数据监控以及多种工具,可帮助用户快速轻松地实现所需的参数。控制器模型还使用户能够为不同的过程编程不同的配方。CANON I-1060SVII PLUS-1非常适合通过高精度沉积、硬涂层、溅射、化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）等各种工艺在基板上溅射薄膜层。它旨在最大限度地减少残留，优化涂层工艺。通过提供精密、控制、均匀性、精确度的理想组合，设备可用于生产多个领域的优质产品。