二手 CANON / ANELVA ILC 1013 #9130606 待售

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CANON / ANELVA ILC 1013
已售出
ID: 9130606
晶圆大小: 5"
In-line sputtering systems, 5".
CANON/ANELVA ILC 1013是一种溅射沉积设备,用于用薄薄的材料层覆盖基板。这是一个低温高效的系统,能够在任何基板上高精度地沉积材料。CANON ILC 1013由一个带有介电溅射靶室的碱基单元和一个离子源和基板支架组成。基础单元装有超高真空环境,便于沉积过程。这种真空环境保持稳定,与一套测控系统保持一致。离子源是一种用高能离子轰击材料的离子枪。这种轰炸促进了物质从目标上的物理溅射。离子源的功率可以精确调整以达到所需的沉积速率。基板支架允许基板的对齐和定位。这样可以使材料最佳地溅射到基板上。基板与目标之间的压力、温度、距离都可以控制,得到一致的沉积结果。然后将溅射的材料层沉积在基板上。该工艺具有多种优点,包括膜与底物粘附良好,沉积均匀,沉积速率高。此外,ANELVA ILC 1013能够沉积到纳米级系统。这使得ILC 1013非常适合用于各种行业,包括医疗、电子、航空航天和汽车。最后,CANON/ANELVA ILC 1013是一个强大的单元,能够在任何基板上沉积材料的薄层。它的超高真空机允许一致和精确的沉积。它能够精确控制压力、温度和基板与目标之间的距离等因素,在防止薄膜缺陷的同时允许高精度沉积。这使得CANON ILC 1013成为任何为其项目寻找低温、高效溅射沉积的人的理想选择。
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