二手 CANON / ANELVA ILC 1013MK2 #9119670 待售

CANON/ANELVA ILC 1013MK2是一种适合于薄膜沉积应用的中型直流溅射设备。它是一种集成的、高度自动化的溅射沉积工具,具有模块化设计,易于维护。该系统配备了大功率、强大的直流磁控管溅射枪，能够将薄膜溅射到平坦、弯曲或有图桉的表面上。该单元设计用于简化维护和操作,允许一致的、可重复的结果。CANON ILC 1013MK2提供了一个全面的功能集,包括一个单独的控制单元、自动过程控制、一个八舱室和两个工作室。主室提供三个同时溅射不同材料的溅射阴极，使用户能够实现其特定基板和薄膜的最佳溅射参数。溅射枪的圆形操纵场是可调的，以提供最大的沉积均匀性。枪经过的磁性材料面积为360°，使用户可以完全控制该区域。控制单元提供易于使用的图形用户界面（GUI）来控制溅射沉积过程。它配备了多通道光栅定位器，具有定制的运动轮廓控制和高精度的位置读出。这确保了结果的均匀性、均匀性和可重复性方面的最佳性能。可以通过控制单元对溅射功率、基板温度、腔室压力、过程持续时间等沉积参数进行精确编程和监控。ANELVA ILC 1013MK2还配备了过程完整性控制的多种功能，如超压和氧气监测、预气体清洗以及用于监测薄膜质量的颗粒计数器。它的两个工作室为基板和薄膜沉积提供了额外的灵活性，提供了单步或堆迭步骤工艺的能力。这种溅射沉淀机是薄膜研发、质量控制应用的最佳选择。