二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9043718 待售
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CANON/ANELVA ILC 1051是一种高性能的溅射设备,旨在提供对工艺参数的精确控制,让使用者对沉积速率有完全的控制。溅射是利用等离子体源将原子转移到基板上的过程,导致薄膜层沉积在基板表面。CANON ILC 1051系统具有易于设置和维护的主板计算机、高压可控直流电源和频率控制的涡轮分子泵。此外,该装置还包括一个独立的气流控制器、真空计、可旋转级、可密封真空室和遥控样品架。使用可旋转级时,操作员可以对最多四个基板使用一个溅射过程,并且可以独立调整每个过程的角度。该机具有强大的射频电源,通过多达64个可编程步骤控制溅射沉积的参数,允许用户指定预溅射过程、沉积时间和后溅射时间。此外,直流电源允许精确且可重现的溅射速率,从而使用户能够准确控制沉积参数。ANELVA ILC-1051拥有一个集成的公司监控工具,其软件用于监控溅射过程,确保溅射资产的高效操作以及跟踪和归档沉积配方。ILC 1051为其用户提供了可观的吞吐量,通过以下方法确保更快的过程:i)保持沉积薄膜的均匀分布;ii)最大限度地减少回收时间;iii)精炼工艺周期。此外,ANELVA ILC 1051还配备了自动晶圆对准模型,提高了精度和准确性,同时减轻了操作员的工作量。总体而言,CANON ILC-1051溅射设备确保了精确、受控和可重现的溅射,使操作员能够用金属、电介质和其他材料的薄膜精确地制造样品。
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