二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9220143 待售

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CANON / ANELVA ILC 1051
已售出
ID: 9220143
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Sputtering system, 6" Air boother Cryo pump 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1051是一种最先进的溅射设备,旨在为各种应用提供卓越的溅射效果。该系统由主室、旋转式等离子体源、主等离子体源、高频射频等离子体连接和一系列磁体组成。CANON ILC 1051的主室采用不锈钢建造,使其具有耐腐蚀性和低维护性。在腔室内部,可以使用一系列的过程气体,包括的是氙气、氧气和氮气。该单元还利用一个独特的旋转型等离子体源与高频射频等离子体耦合。这种新型等离子体源产生高能粒子,与传统的直流驱动等离子体源相比允许更有效的溅射。此外,机器还配备了磁铁,有助于限制等离子体的扩散并提供可控的溅射速率。ANELVA ILC-1051为溅射应用提供了许多优势。其采用不锈钢的构造消除了频繁维护的需要,其独特的高频射频等离子体源为优越的工艺产生高能粒子。磁铁还提供了一个简单的方法来控制溅射目标贡献的大小,从而改进溅射过程。此外,该工具还设计用于处理各种操作,使用户可以轻松适应任何溅射操作。总体而言,CANON ILC-1051是用于溅射应用程序的高级资产。其高频射频等离子体源和磁体具有优异的溅射性能,而其不锈钢结构的建造提供了较低的维护要求。有了这种型号,用户可以享受到更好的质量和前体形成,以及更高的设备寿命。
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