二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #9287391 待售

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CANON / ANELVA ILC 1060
已售出
ID: 9287391
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Sputtering system, 6" Etching chamber (3) Sputter (AL) chambers 1995 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1060是一种工业溅射设备,用于蚀刻和涂覆各种材料的表面。该设备支持反应性离子蚀刻(RIE)和磁控管溅射,并以手动和自动模式运行。自成体系包括控制器、蚀刻室、目标室和独立的远程等离子体源。控制器允许对包括压力、流量、温度、电流、电压和目标功率在内的各种参数进行精确控制和监控。蚀刻室最大内部容积为290升,包含一个涡轮泵浦密闭空间单元(TCSU)。设有两级机械涡旋泵、涡轮分子泵机、离子束源。涡轮分子泵机用于疏散腔室,产生所需的真空状态。离子束源用于产生所需的蚀刻等离子体。目标腔室支持单层或多层溅射,目标面积容量可达200毫米。腔室装有隔膜泵和易于清洁的目标安装,以及可调等离子体筛选技术,以控制离子能量和方向。该室还具有车载气体控制功能,包括五个独立的气体入口和自动阀门控制。该工具独立的远程等离子体源允许双极蚀刻,并且可以配置为微波激发或直流激发配置。它配备了接线盒和气体处理资产,允许精确和可重复的过程控制。CANON ILC 1060的额定功率为75 kW,支持平面、插槽、交叉场等多种配置。适用于研究、半导体和大批量生产市场的应用。该型号具有内置的安全特性、互锁,可以与其他CANON或ANELVA系统集成。
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