二手 CANON / ANELVA ILC 1060SV #181556 待售

CANON/ANELVA ILC 1060SV是为各种工业和研究应用而设计的多功能溅射设备。溅射是一种涉及真空室和电离气体的物理气相沉积形式。在这个溅射系统中，来自目标材料的粒子被电场加速并轰击基板，导致材料转移到基板表面。CANON ILC 1060SV单元有几个特点，使得它特别适合生产导电和介电材料的均匀薄膜。机器由一个真空室、两个负载锁和一个抽油机组成。腔室配有10千瓦电源、高功率目标资产和数字反馈监视器。目标模型由一个固定的源和一个旋转源组成，以允许广泛覆盖基板上的所有角度。高功率电源能够产生高功率输出，从而在某些应用中转化为更高的沉积速率。抽水设备利用一对涡轮分子抽水级和低温泵实现10-5 Torr的真空。这使得从聚合物到金属的各种底物都可以被溅射到上面。双载荷锁创建气闸系统，并允许快速加载和更换基板。ANELVA ILC 1060 SV单元为精确层形成而设计，并配有先进的控制参数，使可重复的层达到10nm薄。这是通过允许控制基板-目标距离、源和目标功率、过程气体压力以及偏置电压和电流来实现的。这台机器的特点是它具有一个快速的进程界面，可以方便地在进程之间进行参数转换。快速的工艺界面和精确的层形成使得该工具非常适合创建均匀的薄膜和复杂的层。ILC 1060 SV是一种多功能溅射资产，适合多种应用。凭借其先进的控制参数、精确的层形和先进的特点，非常适合需要均匀薄膜和复杂层的应用。该模型可用于生产导电材料和非导电材料的薄膜，并因其高功率能力而设计为实现高沉积速率。气闸设备和快速的工艺界面使得基板和工艺之间的快速变化，使其适合高吞吐量的应用。总体而言，该系统是各种研究和工业应用的绝佳工具。