二手 CANON / ANELVA SPF-710H #157670 待售

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ID: 157670
Chrome sputtering system Includes: SPF-710H Instruction Manual 922-9252 Pumping Controller, MIG-820 Wide Range Ionization Gauge Operation Manual PRF-503 RF Generator OF Gauge Selector Diffusion Pump Forepressure Controller 2” Pneumatic Valve, Heating Power Controller with a temperature controller 2033/2063 Alcatel Mechanical Rotary Pump CDP-2400/3700 Oil Diffusion Pump, Vacuum Breaker (M.P. Vent Valve) Bridge Type Main Valve BN86-E NB-86S Flow Switch Gas Feed Valve Controller MTG-012 Thermocouple Vacuum Gauge CMS-301 Orifice Controller and CMS-201 Flow Controller/CMS-221 Mass Flow Meter 922-953 Power Supply: / 220 V / 3 Phase / 40A.
CANON/ANELVA SPF-710H是一种高端分析溅射设备,用于薄膜沉积和金属化过程。设计用于生产和大规模研发应用。该系统由各种部件组成,包括溅射源、基板加热器、驱动组件、真空室、控制面板和排气单元。佳能SPF-710H溅射源具有低压室和钨靶。与传统的溅射源使用射频(RF)辉光放电使目标汽化不同,ANELVA SPF-710H使用直流(DC)偏置电压来方便离子溅射。这提高了发射均匀性和溅射速率。基板加热器设计用于在沉积过程中保持基板的温度,而驱动组件则提供对定位和基板运动的精确控制。SPF-710H真空室采用高级不锈钢结构,具有宽敞的空间,可容纳尺寸不超过8英寸的基板。强大的真空泵,加上高贵的气体输送机,在腔室保持高度真空。这样可以实现快速高效的薄膜沉积。CANON/ANELVA SPF-710H的控制面板非常精密,可为用户提供对工具的各种功能和参数的精确控制。它包括一个直观的图形界面,并预先编程了常用的操作条件。此外,它还包括各种安全功能,以保护使用者免受有害气体和电击。最后,CANON SPF-710H包括一个强大的排气资产,以快速有效地疏散溅射的颗粒和气体。这在高真空沉积过程中尤为重要,因为它有助于减少污染并保持安全和健康的工作环境。综上所述,ANELVA SPF-710H是一种综合性的高端分析溅射模型,适用于广泛的薄膜沉积和金属化应用。其先进的部件,包括溅射源、基板加热器、驱动组件和控制面板,为可靠高效的运行提供了一个坚固的平台。此外,其先进的安全特性和强大的排气设备确保了安全、无污染的工作环境。
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