二手 CANON / ANELVA SPF-730H #9219102 待售

看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。

CANON / ANELVA SPF-730H
已售出
ID: 9219102
Sputtering system, 6" Front-end.
CANON/ANELVA SPF-730H是为材料的薄膜沉积而设计的溅射设备,通常应用于半导体、薄膜和纳米技术相关的研发领域。它是一种三源物理气相沉积(PVD)系统,可以在基板上沉积金属、半导体和介电薄膜。CANON SPF-730H由三个独立的旋转共磁控管组成,这些磁控管允许从三个来源沉积材料,并具有连接到旋转器的旋转编码器,以帮助优化单元。此配置提供了更好的目标利用率,从而提高了生产效率,同时降低了重新定位和维护成本。此外,该机还配备了现场发射监测器,以确保薄膜厚度和组成在沉积过程中保持一致。ANELVA SPF-730H具有双室设计,主室和辅助室可用于多个应用。主室是真空密封的,包括两个直径20厘米的基板支架,支撑直径达200毫米的基板,以及一个用于角度溅射的旋转轭。它还装有氮气供应装置,允许在高达0.5帕的气氛中进行反应性溅射。辅助腔室配有淋浴头功能和微控制器,用于控制刀具参数。SPF-730H具有确保高真空质量的负载锁定资产,以及防止基板长时间暴露在真空中的自动快门,从而无需手动处理。它还具有自动操作温度控制,确保沉积过程中基板的温度稳定性。此外,该模型还配备了一台控制整个过程的计算机,从基板的定位到监控氧分压,允许精确和可重复的配方。总之,CANON/ANELVA SPF-730H是一种可靠、一致的溅射设备,可用于薄膜材料的沉积,用于研发。其三源PVD系统和负载锁定单元保证了胶片的高均匀性和可重复性,而其内置传感器则有助于优化生产速率。
还没有评论