二手 CPA / KURDEX System #182506 待售

CPA/KURDEX设备是一种用于将薄膜沉积到各种基板上的溅射CPA系统。它由附着在超高真空室的电子束枪、晶圆架、准直器、控制模组和高真空泵组成。电子束枪用于产生聚焦在真空室中目标材料上的电子。通过施加电场，电子加速到高速，轰击目标材料，使其侵蚀和溅射掉沉积在所需基板上的材料颗粒。准直器有助于确保电子具有明确的光束大小，从而为基板提供均匀的覆盖。晶圆支架对于保持基板静止以及在暴露于电子束时处于完全相同的点很重要。它还负责确保基板与目标材料有适当的对准和距离。控制模块是KURDEX单元的重要组成部分。它提供必要的参数如电压、电流和脉冲持续时间，以确保用正确的电流量溅射材料。它还通过监测基板温度的变化自动调整材料的溅射速率。最后，高真空泵有助于疏散腔室内的铝，并为腔室提供连续流动的清洁和自由惰性气体，确保电子传播更大的距离与目标材料接触，从而产生更大的溅射效率和更均匀的沉积。综上所述，Machine是一种高效溅射CPA/KURDEX工具，旨在将薄膜沉积到各种基板上。它由电子束枪、晶圆架、准直器、控制模块和高真空泵组成。CPA资产用于利用电场和明确的光束尺寸确保薄膜的均匀覆盖和沉积。它还具有温度控制和电流调整等自动化功能。高真空泵防止任何污染物进入腔室，并有助于确保最大的溅射效率。