二手 CVC SC 4000 #9106193 待售

CVC SC 4000溅射设备是为大面积涂层应用而设计的一种强大的真空沉积工具。该系统采用先进的三室设计，可实现高通量沉积过程和跨大基板的均匀涂层。它利用专有的磁控管溅射阴极，为高质量的表面饰面提供均匀的涂层速率和精确的层厚度控制。SC 4000设计用于在广泛的温度、压力和尺寸范围内提供稳定的沉积过程。CVC SC 4000的两个组分腔是为高沉积速率而设计的。主腔室配有四柱级，带有载荷/卸载机器人，便于基板切换。该腔室可容纳多达四个基片尺寸，直径可达203mm。在主室中，基板被机器人固定到位，然后被运送到可以发生均匀薄膜沉积的加工区。二级"清洁"室的设计旨在确保所沉积薄膜的最佳质量。它包括一个静态电荷中和装置，反应性气体输送系统，以及稳定膜生长的受控环境。这个腔室还设有一个可移动的钟形罐子，以便于接触单元内的基板。SC 4000溅射机还为特定应用提供了一系列涂层。它可以用多种技术生产氧化物、氮化物、碳和金属涂层。这包括传统的溅射过程以及等离子体增强化学气相沉积，或PECVD。CVC SC 4000溅射工具非常适合最优质的涂层应用。SC 4000以其先进的三室设计和全方位的工艺，为大面积基板提供高效的沉积工艺，得到均匀优质的成品。