二手 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 Corona #9236460 待售
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已售出
ID: 9236460
晶圆大小: 5"
优质的: 2000
Al Fill sputter deposition system, 5"
(2) Targets
Palette: (8) Wafernests, 5"
Material: Aluminium Oxide
Simultaneous RF and DC sputtering
Bias option: Up to 300V deposition of deep flanks
Rotating magnet array option
RF Generators:
HUTTINGER PFG 2500
(2) HUTTINGER PFG 5000
Pinnacle DC power supply
BROOKS Mag-7 Robot (P/N: 201600-11)
BROOKS Marathon Express MX400 Wafer handler
BROOKS VCE6 Vacuum cassette elevator load lock
Upper matchbox: UNAXIS MBN-03-0100-0410
Lower matchbox: UNAXIS MBN-04-0100-0420
Table lift motors: DUNKERMOTOREN RE30-3-512 + TI.5V
Table rotate motors: DUNKERMOTOREN RE30-3-512 + TI.5V
2000 vintage.
LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Corona是一种先进的溅射设备,设计用于通过一系列阴极电弧将各种材料的薄膜沉积到基板上。它是一种高度通用的工具,用于半导体的加工和开发,能够为各种应用准备纳米结构。LEYBOLD ZH 620电晕包括一个高分辨率目标室、一个紧凑的磁控管装置、一个旋转/倾斜盖和一个高效的冷却机构。高分辨率的目标腔确保了纳米结构的精确加工,而磁控管的布置允许通过改变阴极弧的数量和位置来改变沉积过程。旋转和倾斜盖扩大了暴露角度的范围。BALZERS ZH 620 Corona具有强大的涡轮分子泵,以确保持续供应不间断的过程气体。该系统还能够产生广泛的定制形状,控制溅射材料的质量。ZH 620 Corona可以手动模式或半自动模式操作。这允许用户控制的操作,以确保对沉积过程参数的精确控制。这也提供了对生产的薄膜粒度进行实时分析的可能性。LEYBOLD/BALZERS ZH 620 Corona非常高效,这要归功于其阴极弧线的入射目标电流优化,使其成为溅射薄膜的理想选择。此外,这台机器适用于广泛的应用,包括获得透明导电氧化物(TCO)和生产涂层植入物。LEYBOLD ZH 620 Corona完全配备了安全措施,如盖闭式互锁单元和自动喷嘴关闭。此外,还可以监测和调整机器参数,例如泵房的工艺温度、压力和温度。总之,BALZERS ZH 620电晕是一种高效可靠的溅射薄膜和纳米结构的工具。配备了多种先进的功能,这台机器允许精确的沉积过程,以确保生产的细丝的最高质量,从而节省成本和提高生产率。
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