二手 LEYBOLD / BALZERS ZV740 / AZ RFD #9205696 待售

LEYBOLD/BALZERS ZV740/AZ RFD是一种高性能、先进的物理气相沉积（PVD）设备，设计用于溅射应用。它结合了广泛的工艺参数、涂层沉积速率和材料兼容性。LEYBOLD ZV740/AZ RFD适用于多种不同类型的薄膜沉积（TFD）工艺。它设计用于多种行业，包括工业电子、光电、微电子，以及光电、航天、汽车、医疗等应用。BALZERS ZV740/AZ RFD利用一个6轴机器人控制的溅射室，由基板-蛤壳系统支撑。该单元具有可编程的应用速率控制和动态基板运动功能。它还包括一个触摸面板控制器，一个腔室观看器摄像头，以及一个内置的电子束监控和安全传感器。它通过流程变量日志记录和在线数据检索增加了改进的流程监控功能。溅射室具有先进的工艺室设计和现成的工艺室优化。它包括一个先进的两部分阴极机，一个可变换的目标夹紧工具，一个固定的目标持有人，气体通道访问，和一个工艺视图摄像机。RF/DC和MF/DC电源提供稳定的等离子体生成和均匀的离子轰击，以改善各种底物上的薄膜附着力和均匀性。ZV740/AZ RFD具有一系列涂层和基材,从氮化钛（TiN）和碳纳米管（CNx）到铬（Cr）和钛（Ti）。它具有先进的控制逻辑和自动化的过程控制，允许实时的性能监控。LEYBOLD/BALZERS ZV740/AZ RFD还具有自动化的负载锁定和工艺室压力控制、温度控制以及基板与基板的匹配功能,确保所有基板上均匀的涂层和薄膜厚度。此外,LEYBOLD ZV740/AZ RFD提供各种设备配置选项,以适应移动性和使用性。它有泄漏检测，以提醒任何真空资产退化和综合反应蚀刻过程，以去除天然氧化物。RFD还包括一个有效和优化目标燃烧的综合气体管理模型。最终，BALZERS ZV740/AZ RFD为溅射应用提供了可靠、先进的物理气相沉积设备。其创新的腔室设计，先进的工艺能力，以及全面的涂料选项，使其成为任何行业的完美选择。