二手 LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona #196509 待售

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LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona
已售出
ID: 196509
优质的: 1996
Sputter tool, 4" Includes: Main body: R-Metal Corona RF Generator tower 1 RF Generator tower 2 Automatic controller Chiller Compressor PC / Monitor Spare parts Manual (2) Leybold pumps Heater 1996 vintage.
LABOLDLEYBOLD/BPS ZH 620电晕是为各种沉积应用而设计的溅射设备。它利用直流电和射频功率在各种基板和工艺中实现高效溅射。它是为单层和多层的高速率溅射设计的,在整个基板上均匀。该系统包括离子源、平面磁控管和遥控、多轴基板级。离子源产生高度均匀的预清洗等离子体,用于在涂层前去除表面的天然氧化物和污染。发射的离子由一组聚焦的收集器板引导到基板表面。强度源包含在用户友好的模块化设计中,该模块化设计具有可调腔壁和可移动的可变高度导轨单元。这样可以方便地访问和重新配置不同进程的机器。平面磁控管溅射源最多可容纳9个磁控管目标,每个目标最多三个载流子。这样就可以进行各种沉积,包括高速率溅射、阶梯涂层和多层沉积。利用无工具夹紧机构可以快速、轻松地改变目标。它的多模式操作使沉积参数能够针对每一个基板和沉积过程进行精确的定制。该工具还具有可远程控制的多轴基板处理阶段。这使得基板能够精确运动和定位,从而在整个表面实现均匀沉积。基板级还包括独立的偏置和倾斜控制,以允许最佳溅射覆盖。这种先进的资产非常适合研究、过程开发和大量的溅射应用。它满足各种溅射要求,并提供可靠和一致的性能。它易于访问和灵活的配置使其适合各种过程。LABOLDBPS ZH 620 Corona是一款功能强大且用途广泛的溅射模型,旨在帮助您取得优异的效果。
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