二手 LEYBOLD HERAEUS ZV 1200 #154093 待售

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ID: 154093
Vertical sputtering system Continuous substrate flow ability Carrier return track Built-on Twin-mag with AE MF Generator Substrate size is 700x750mm Modules: (2) Atmospheric (4) Transport (short mod) (2) Process (long mod), up to 12 cathodes Roots / rough pumps per module: WS2000 / D65 TMP1500 turbo Process modules have (2) turbo pumps Vacuum sensors: IM110 and Thermovac TM220 and Penningvac 411.
LEYBOLD HERAEUS ZV 1200是一种高科技溅射设备,设计用于将材料薄膜沉积到多种基板上。该系统包括一个电源、一个处理室、一个射频发电机和一个真空装置,以及一大堆板载控制和监测组件。ZV 1200以最大的可靠性和正常运行时间而设计,采用紧凑的机箱式设计,一个单元中包含所有必要的组件。LEYBOLD HERAEUS ZV 1200的电源可提供高达1.2kV的电源,并且可以在可变功率级别运行,从而可以精确控制溅射过程。利用可调节射频发生器,用户可以设置频率、脉冲长度和占空比,允许通用和可定制的溅射过程。该工具还包含一个控制板,用户可以控制各种可编程设置,例如溅射目标材料和其他参数。ZV 1200采用主动冷却工艺室,旨在保持最佳溅射环境。腔室的壁衬有蒸发涂层,以尽量减少污染,让使用者得到纯度最高的薄膜。由于主动冷却,腔室温度可以维持在10-15°C的范围内,以确保最佳沉积。整个资产配备了多种传感器,用于监控操作过程中的腔室压力和温度,以及其他各种参数。设计了LEYBOLD HERAEUS ZV 1200溅射模型,以确保最大程度的可靠性和正常运行时间。由于紧密集成的设计,设备有助于快速更换插槽和方便维护。所有组件都按照最新的安全标准构建,为用户提供安心。此外,系统允许根据用户需求配置多个工艺室配置(包括单室和双室)。总之,ZV 1200是一种高度先进的溅射装置,旨在提供最大的可靠性和正常运行时间。该机设计紧凑,电源强大,射频发电机可调,工艺室主动冷却。LEYBOLD HERAEUS ZV 1200具有各种板载传感器和可定制设置,可为用户提供对溅射过程的最终控制。
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