二手 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH SCM 650 #9064626 待售

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MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH SCM 650
已售出
ID: 9064626
Sputtering system with loadlock. RF/DC.
MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650溅射设备是一种先进的物理气相沉积(PVD)工具,用于将材料涂覆到基板上。这一过程包括一系列步骤,目标材料在真空室中汽化并沉积到基板表面。MEIVAC SCM 650溅射系统能够沉积多种材料,包括金属、介电层和一些半导体材料。ALCATEL SCM 650溅射机是一种紧凑型、三卷磁控管溅射机,易于安装操作。它是为灵活操作而设计的,最多有四个独立的溅射模块。每个模块都配有磁控管、高真空泵站和腔室安装控制器。每个控制器都可以根据流程要求轻松定制。COMPTECH SCM 650溅射工具利用高压发生器产生电离等离子体,用于将目标材料溅射成蒸气。磁控管面板允许选择沉积功率水平、目标到基板的距离和目标材料。这些参数可以调整以达到最佳沉积结果。SCM 650溅射资产还配有集成加热器和真空泄漏检测模型。加热器有助于保持最佳基板温度,使沉积均匀.真空泄漏检测设备允许快速诊断和纠正任何真空泄漏。这样可以防止任何尘埃颗粒进入系统,从而对沉积质量产生负面影响。MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650溅射单元可用于需要具有明确均匀性的保形涂层的应用。它也与其他基板加热技术如RTP和ALD兼容。MEIVAC SCM 650是薄膜沉积的理想工具,使其成为商业和研究实验室的热门选择。
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