二手 MRC 8667-A #9060240 待售

MRC 8667-A是一种用于各种材料沉积的最先进的溅射设备（SPS）。该系统具有低温、低电压、低运行成本等特点，可实现更大的控制和更高的材料沉积产量。它配备了两个磁控管，使其可以同时加工平面和非平面基板。这两个独立的磁控管是独立操作或组合操作，使得广泛的涂层结构和工艺。该单元由两套独立电源、一个真空室和一个基站组成。设计方便维护和操作。基站提供全方位的软件和硬件组件，用于控制机器和监控沉积过程。电源提供对基板沉积参数的精确控制，包括电流、电压、基板温度和基板屏蔽。高压低压供电工具允许对每个磁控管进行独立控制。资产的真空室由两个并行处理器组成，一个高频发电机（HFG）和一个高功率发电机（HPG）。这两台发电机可实现更快、更高效的沉积过程。HFG产生短时高频爆发，而HPG产生低频持续电压。两者都在低压下在真空室中产生等离子体，以实现更好的过程控制和均匀性。对于沉积，8667-A具有先进的真空模型。将溅射目标安装在旋转平台上，在该平台上可以调整其角度和位置以获得最佳材料供应。此外,直流模型包括一个旋转基板支架.这样可以优化基板表面的材料供应，提高沉积过程的均匀性和可重复性。该设备还具有自动校准系统等先进功能，可监控工艺条件，可用于调节沉积膜内的膜厚度、电导和应力。这有助于使用直接或远程监控来确保影片的最高质量。该单元还有一个目标映射机，这有助于确保均匀膜厚度和分布在大基板。该工具非常适合需要低温和低压的应用程序,并且允许在一次运行中执行多个进程。集成控制资产允许实时模型控制,并允许设备以手动或自动模式操作。它还允许高效的数据存储和检索。总体而言，MRC 8667-A是一种功能强大且用途广泛的溅射设备。它具有提高沉积质量和重复性的先进特点，对沉积过程提供了更大的控制。该系统操作方便，运行成本低，是满足各种沉积需求的理想选择。