二手 MRC 944 #9023648 待售

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MRC 944
已售出
製造商
MRC
模型
944
ID: 9023648
Sputtering system.
MRC 944是一种双平面磁控管溅射设备,旨在为光电等高科技应用提供高性能沉积。它是一个四阴极、两室系统,可以同时容纳高功率和高速率沉积。该单元配备了先进的Glid CoplanarTM目标附件机,其集成的多频电源允许精确的控制和灵活性。该工具能够沉积各种薄膜,包括高纯度金属、导体、电介质、单层和多层堆栈或其组合。腔室的设计还允许各种工艺气体,其中包括氙气、氧气、氮气或其组合。944集成两个独立的溅射源和两个腔室进行独立操作。此设计提供高产能和灵活性,生产率高达1.1m2/hr。这些会议厅易于快速交换,并提供快速循环时间,提供额外的灵活性。基板装载站可以快速高效地放置样品。该资产专为高温、高真空环境而设计,并配有水冷、磁性屏蔽,是高性能薄膜沉积的理想选择。防护罩在敏感材料沉积过程中提供额外的保护。该模型还具有高级监视和控制功能,通过一系列强大的反馈循环,提高了流程的准确性和可重复性。当与存款映射和速率监测相结合时,这种设备可以进行彻底的过程控制和优化。MRC 944还具有独特的电极位置控制系统,即使在运行过程中也能对溅射参数进行微调。这一特性保证了高精度纳米级薄膜的沉积是可能的。总体而言,944是一种精密的溅射装置,可用于制造一系列光电、光机械和其他高性能部件。这台机器为用户提供了可靠性、信心和灵活性,使他们能够生产出符合其质量和性能目标的高精度薄膜。
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