二手 MRC / MAT-VAC 943 #9173799 待售

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製造商
MRC / MAT-VAC
模型
943
ID: 9173799
Sputtering system.
MRC/MAT-VAC 943是由Taga製造公司开发,用于薄膜沉积应用的多功能真空溅射设备。该系统能够在玻璃、塑料、硅、陶瓷等基板上沉积广泛的材料性能,具有高精度、重复性和均匀性。该单元由两个主要组件组成:装有阴极的主室和用于进行溅射过程的真空外壳。主室由直流电或射频电源供电。阳极和阴极在腔内连接,基板放置在两者之间。阳极是目标材料,阴极吸引溅射材料。主室中的压力通过在泵的帮助下产生真空来维持。还存在一个气体入口,用于控制室内的其他参数,如温度、氧气和氙气水平。室内温度范围为5°C-1000 °C,压力可从0.5 mbar-1000 mbar调节。机器的功率输入可从0.01 A-100 A调节,频率在1 kHz-50 kHz之间.其速度足以达到所需的溅射沉积速率。该工具设计具有安全功能,如安全联锁系统和带有触摸板输入和详细控制操作的气体报警器。它还具有用户友好的图形用户界面和内置的数据记录软件,允许用户进行实时监控和自定义报告功能。此外,该资产采用集成真空模型设计,采用涡轮分子和扩散泵来维持高极限压力。该设备还设计了温度控制系统,允许用户在沉积过程中对整个基板表面保持恒定的温度轮廓。总之,MRC 943是一种坚固可靠的溅射装置,具有广泛的参数,可以调整以满足几乎任何薄膜沉积要求。它装备精良,能融入射频源、快速高端冷却系统等先进技术进步。这台机器非常适合任何需要高精度和可重复的高均匀度薄膜沉积的应用。
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