二手 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633 #132274 待售

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ID: 132274
Sputtering system, parts system No turbo pump Targets / RF Generator included.
MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633是一种最先进的溅射设备,用于将薄膜和纳米结构材料沉积到半导体晶圆、玻璃和金属等基板上。该系统利用三个独立的溅射源组合各种材料,提供了更好的覆盖面和最佳的沉积速率。溅射源采用双目标阴极设计,允许广泛的目标材料和沉积速率。该装置还包括可调溅射压力、温度和气流监测。该机是高质量薄膜工艺控制和优化的理想设备,具有对溅射枪电流等工艺参数的精确控制,最大限度地减少了薄膜的不均匀性。MRC SS-8633还配备了一个先进的红外传感器,对工艺温度提供反馈和控制。该工具配备了水循环和先进的冷却管理资产,并配有自动关闭阀,以防止过冷。MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633是耐用和可重复的溅射过程的理想选择,它具有快速的目标转换时间和最小的溅射运行停机时间。该模型提供了改进的薄膜均匀性,精确的过程控制和可重复性在基板的所有部分。SS-8633还具有多种可用的工艺气体,对各种不同的材料具有反应性。此外,MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633与其他各种过程控制和自动化系统集成,以提高生产率和过程灵活性。除了广泛的工艺气体和工艺控制外,MRC SS-8633还提供精密薄膜沉积,满足各种应用和研究需要。设备还配备了用户友好的图形用户界面(GUI),允许用户快速设置和监控流程。总体而言,MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633是一种创新、精确和高效的溅射工具,旨在将薄膜和纳米结构材料快速准确地沉积在各种基板上。该系统具有精确的溅射枪控制、可调溅射压力、过程监测、冷却管理和各种过程气体。此外,该单元还与广泛的其他过程控制和自动化系统兼容,提供了提高的多功能性和生产率。
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