二手 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II #9119500 待售

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MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II
已售出
ID: 9119500
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6".
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON MARK II光刻设备是一种用于光刻图样和蚀刻技术的多功能工艺解决方桉。它专为各种电子束诱导和常规光刻任务而设计,如半导体器件制造和工业转移印刷应用。该系统是在电子束光刻平台上制造的,该平台包括优化扫描阶段、直接成像光学器件、增压控制单元和经济高效的先进电子设备。它采用封闭式双磁铁光学设计,确保了先进结构和图桉的高重复性和精确度。这使得它成为纳米结构制造工艺的合适解决方桉。MRC Mark II有一个基于激光二极管的书写源,它与光学冷凝器最佳耦合,允许大图案区域的一次曝光。这与增强的控制机器一起,在分辨率要求下提供了最高的高质量光刻胶图像生产率。该工具还提供了通用的剂量控制界面和环境控制资产。这使用户能够灵活地在剂量、速度和光致抗蚀剂兼容性方面对其工艺进行实时优化。此外,TEL Mark II还配备了专门的无面罩相机模型,能够在室内审查结构。该设备准确记录结构的布局和横截面,以便进一步分析。此外,该系统具有卓越的图像对齐单元,可消除抖动和失真,确保适当的结构对齐。此外,Mark II还拥有通用的数据管理服务。这为用户提供了在安全云平台上存储其项目设置和进度报告的机会。这允许用户从任何地理边界访问其数据,或存储数据以进行存档或备份。总体而言,TOKYO ELECTRON MARK II光刻机是一种用于生产规模应用的强大而精密的光刻解决方桉。其先进的设计确保了高生产效率和准确性,同时提供了易于实施和安全的数据管理。
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