二手 PERKIN ELMER 4450 #9089262 待售

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製造商
PERKIN ELMER
模型
4450
ID: 9089262
Sputtering system, up to 6" (3) Targets Delta configuration RF power supply DC power supply Turbo pumped load lock CTI cryopump and compressor LH D65B Dual stage vacuum pump.
PERKIN ELMER 4450是一种溅射设备,是真空系统中用于将薄膜沉积在基板上的一种工具。它使用了一种氙气溅射枪,可调压力范围为5-1000 mtor,底压为2 × 10-8 torr,最大压力为1 × 10-2 torr。该系统可以溅射多种材料,包括金属、半导体和氧化物。4450单元上的溅射枪电源可以是高频交流电(HFAC)或直流电(DC)电源,能够从0-200瓦和10-500 kHz调整功率和频率。它还具有一个旋转平台,以确保材料覆盖在基板上的均匀性。PERKIN ELMER 4450采用高公差闭环反馈技术(HTCLFT)设计,该技术可监控溅射速率,以确保一致的结果并提供对溅射过程的出色控制。它还与现有的气体控制机兼容,可以在标准的超高真空环境中使用。溅射沉积速率可从1-1000埃/秒调节。该工具具有半自动模式,允许用户控制溅射速率、基板偏置和基板旋转速度。它还有一个大型顶装炉,可容纳直径不超过8英寸的基板。4450有一个可选的二次电子探测器,可以检测表面溅射粒子,对被溅射的材料进行详细分析。它还能够执行定格和步进重复溅射。对于需要高精度的工艺,PERKIN ELMER 4450是完美的选择。其耐用的设计和直观的控制使其长期易于使用和维护。其可调的溅射速率和基板偏差以及闭环反馈技术允许严格控制溅射过程,使资产成为用于研发、原型设计和生产应用的理想选择。
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