二手 SEMICORE SC9900 #9213729 待售

SEMICORE SC9900 Sputtering Equipment是为薄膜沉积而设计的最先进、多目标、锁定负载的溅射系统。它配备了多式联运溅射技术的最新进展，在大面积上提供高速率、均匀的薄膜涂层。SC9900设计用于处理各种工作负载,并提供可重复、一致的生产结果。溅射单元SEMICORE SC9900有一个带两个阴极的锁载真空室。它具有多个可旋转目标的专利多目标溅射源技术，允许在一个处理周期内沉积多个金属层。这台机器有三个独立的工艺模块，每个模块都针对两个沉积过程进行了优化：单阴极和双阴极磁控管以及三极管溅射。该工具还具有两个用于双阴极反应溅射的弧源。SC9900还有一个定制设计的12目标溅射枪。该枪符合人体工程学，可提供直接向下进给，以优化腔室通路和最小的阴极噪声。其多目标溅射源在大型基板上提供一致的涂层性能和均匀的涂层。该枪具有0°至30°的可调溅射角和两个可调节配置的独立淋浴头喷嘴，以改进对溅射材料方向的控制。溅射装置内部的真空室由牺牲材料构成，以保证低原木磨损和优越的颗粒污染控制。它配备了高性能泵送系统、加热至875°C的石英基板卡盘、真空锁室、5位气箱和气体溷合歧管。所有这些设备的设计都是为了提高沉积率并确保可重复的工艺结果。SEMICORE SC9900具有先进的用户友好界面,该界面具有卓越的图形和可编程配方,可最大程度地控制过程参数。该型号的尺寸也很紧凑,具有卓越的能效和简化的维护要求。所有这些功能使SC9900溅射设备成为串联溅射系统的最佳选择。它的高沉积速率和紧凑的设计使得它非常适合在一个单一的加工循环中将大量的金属和氧化物层沉积在大型基板和装置上。凭借其用户友好的界面、集成的系统组件以及改进的工艺一致性，这一单元非常适合涂覆各种基板，具有统一、可靠、可重复的效果。