二手 TANGO SYSTEMS Axcela #9249009 待售

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製造商
TANGO SYSTEMS
模型
Axcela
ID: 9249009
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8" (2) Load locks Transfer chamber with robot ICP Chamber PVD chamber for TSV deposition PVD chamber for RDL deposition.
TANGO SYSTEMS Axcela是一款具有多种专业特性和先进技术的溅射设备,使其成为行业领先涂层溅射各种材料的理想选择。它提供卓越的溅射均匀性、精确的溅射控制以及高度详细的工艺界面,从而实现卓越的材料涂层和精度。Axcela由利用标准230V电源插座、板载冷却水源和低功率控制单元主动加热和冷却的圆柱形腔室组成。它还配备了一个自给自足的射频溅射源,可通过手动或可选的可编程控制持续调节,允许精确和可重复的溅射。该系统易于安装和使用,操作需要最少的设置和方向。其主要特点包括0-25mTorr压力范围控制、25-250瓦RF功率控制、6-12英寸基板和10位旋转样品架,使得该单元在各种应用中灵活通用。TANGO SYSTEMS Axcela能够溅射各种材料,从金属和合金,到陶瓷和聚合物。用于层状和精细控制各种涂层,在基板上创造出高性能、多功能的表面。其独特的软件控制,包括可调功率,使用户能够精确调整沉积速率,并快速重现稳定的工艺条件,以获得精确一致的结果。此外,Axcela还配备了一个敞开的锁载门,方便晶片装卸。它还设计用于高吞吐量的自动化处理,以实现机器的最佳利用率和数据采集和控制的电子监控。此外,它还包括故障安全功能,如预先设置的进程启动和停止,以及警报工具,用于在出现违规情况时向用户发出警报。这样可以进行完整的工艺控制,以确保高质量、一致、可重复的涂层安全且经济高效。总体而言,TANGO SYSTEMS Axcela是全球许多先进制造商和实验室使用的可靠且先进的溅射资产。它坚固而方便用户,使用户能够获得卓越的涂层效果和改进的工艺可重复性。它的灵活性和多功能性使其成为许多涂层任务的理想选择,为用户提供卓越的质量、经济高效的多功能涂层。
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