二手 TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #178693 待售

TRIKON/ELECTOTECH MS 6210是一种高度复杂的溅射设备，设计用于将各种材料的薄膜沉积在各种基板上。该系统由超高真空室、控制器和电源组成。该腔室设计为保持真空高达1.33 x 10-6 Pa，涡轮泵速为每秒3.2升。控制器连接到电源,可以精确控制溅射过程。该单元的腔室呈圆柱形，配有顶置腔室法兰和顶置排水口。腔室法兰设计有三个臂和锥口，便于基板装卸。另外还有两个安装在底部的氮气端口和两个安装在顶部的气体入口，提供了对机器中活动气体流动的精确控制。腔室由四个热电加热器加热，允许均匀覆盖基板的加热表面。真空工具由两个涡轮分子泵、一个各种真空量表和一个离子量表组成，用于精确监测腔室的真空参数。该资产还配备了防污染快门和粗加工阀，以尽量减少溅射膜的污染。该模型的电源能够为溅射源提供稳定和均匀的电源,而不管电压和电流的变化如何。有三个具有独立电压和电流控制的控制通道，允许精确调整电源和溅射速率。控制器连接到电源，允许精确控制占空比、溅射速率、目标材料等溅射过程的参数。TRIKON MS 6210溅射设备能够生产极高均匀性和表面光滑度的薄膜。薄膜还可以沉积在各种基板上，如玻璃、不锈钢、硅，具有优异的附着力和优异的光学性能。该系统易于使用，对溅射过程提供精确控制。