二手 TRIKON Sigma 200 #9225665 待售

TRIKON Sigma 200是专门为制造先进半导体器件而设计的干式等离子体蚀刻器/asher。它为经济实惠的小巧包装中的蚀刻和灰烬工艺提供了卓越的性能。Sigma 200有效地从晶片表面蚀刻挥发性有机化合物（VOCs），导致表面极为清洁，背蚀刻最少。它还能够以较低的运营成本实现干净、高长宽比的蚀刻轮廓。TRIKON Sigma 200具有一个足以容纳各种晶圆尺寸的工作室。腔室装有自动装载设备，能够处理多达3英寸的晶圆和25毫米的晶圆。高级过程监视系统监视蚀刻过程中的任何更改。该单元还能够控制脉冲和连续模式下的蚀刻和灰分过程。Sigma 200配备了坚固、全金属的设计和高扭矩电机，以实现最大的生产力。该机器还提供了出色的过程控制和可重复性，在广泛的负载范围。各种气体输入也可用于适应硅、铝、玻璃等不同材料的工艺要求。TRIKON Sigma 200提供多种蚀刻和灰烬工艺。它能够同时进行各向同性和各向异性蚀刻，具有可变压力、流速和功率水平，以提供对过程的精确控制。该工具还能够实现高长宽比蚀刻形状，这通常是更先进的半导体器件所必需的。此外，该资产还可用于栅极氧化物蚀刻、存储单元的源和排水开口以及薄金属膜的接触开口。对于那些需要具有卓越品质和灵活性的蚀刻器/asher的用户,Sigma 200是理想的选择。它的占地面积小、运营成本低,以及出色的工艺控制,确保用户充分利用其蚀刻和灰烬预算。