二手 TRIKON Sigma FxP #9253626 待售
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ID: 9253626
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Metal deposition systems
Platen HSE MK2, 8" (P/N: TR-133072/B)
TI-Heater assy platen, 8" (P/N: 188855)
No Pumps / Chiller
Configuration:
Hot sputter etch chamber: Station 2 (DepE-HSE)
Station 0: BROOKS M800
Station 1: BROOKS VCE
Station 2: Hot sputter etch (Rack)
Station 3: Hot sputter etch (Rack)
Station 4: Deposition (Rack) TTN
Station 5: Deposition (Rack) TTN
Station 6: Deposition (Rack) ALU
Station 8: BROOKS VCE
Station 9: BROOKS Inliner
Station 10: BROOKS Top cooler
Station 11: BROOKS Buffer
(2) Load locks:
Station 1: VCEA
Station 8: VCEB
(3) Deposition chambers:
Station 3: (DepC- HU platen aluminium)
Station 4: (DepB - HiFill TTN)
Station 5: (DepA - HiFill TTN)
Pre heat chamber: Station 7
Orienter: Station 9 (In front of VCEA)
Top cooler for cooling wafers: Station 10 (In front of VCEB)
LEYBOLD CoolVac 1500 O-Ring sealed
Transport chamber
DC Power supplies for single and double rack
Turbo controller
Main computer
Main AC
RF / DC Power supplies
Chamber AC control
Temperature set point: 20°C
Resistivity set point: > 50 kΩ
Recirculating flow: 20 gpm
Recirculating pressure: 22 psi
BROOKS MAG7 Robot included
Process modules:
DepA
DepB
DepC and DepE
2001 vintage.
TRIKON Sigma FxP是为了提供等离子体蚀刻和灰化过程的精确控制而开发的蚀刻器和灰化器。它利用从蚀刻到电镀的一个完全集成的设备，为工业和研究蚀刻器和灰烬应用提供了一个强大的工具。该系统可用于反应性离子蚀刻（RIE）、微波、反应性溅射等各种工艺，以及其他蚀刻和灰化工艺。它由真空室、微波发生器、机器人工作站、等离子体发生器、溅射源等几个组件组成。该单元完全自动化,允许用户为不同的蚀刻和灰化应用程序创建优化的工艺配方。Sigma FxP通过使用微波和无线电频率的组合，从反应室中生成等离子体来运作。这个等离子体提供了一个高反应性的环境，非常适合蚀刻和灰化过程。RIE室包含石英管、散射介质、初级电极和危险气体吸收器。微波由磁控管提供，并将能量传递到反应室。这种能量被用来在石英管内产生等离子体。室内气体加压达到理想的蚀刻和灰化条件。TRIKON Sigma FxP机器还包括一个机器人工作站,用于优化Different蚀刻和灰化过程。这允许用户对自动进程进行编程以获得可重复的结果。此外，该工具还具有自动气流控制资产，用于控制气流到反应室。总体而言,Sigma FxP模型是用于研究和工业中的蚀刻和灰化过程的有效工具。它为蚀刻和灰化过程提供了极高的精确度,并因此优化了结果。它允许用户通过其全自动设备和自动化过程编程优化蚀刻和灰化过程。此外，该系统具有强大的气流控制单元，有助于提供有利于蚀刻和灰化的环境。
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