二手 ULVAC Ceraus Z-1000 #9133525 待售

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ULVAC Ceraus Z-1000
已售出
製造商
ULVAC
模型
Ceraus Z-1000
ID: 9133525
晶圆大小: 5"
System, 5".
ULVAC Ceraus Z-1000是一种用于将薄膜材料原子沉积到基板上的溅射设备。这种沉积是生产具有高度均质层材料的固态组分的理想选择。该系统配备了三个NanoJet溅射源,能够从多种来源沉积材料,生产出沉积速率高、工艺可靠的均质膜。基板支架可以精确定位在x、y和z方向,这要归功于用于精确对准和处理的电动UFS-3C级。该单元由Winpro 7控制软件控制,该软件具有用户友好的图形界面,便于设置和操作。温度可以通过直列式300 W射频发电机精确控制。这为整个基板支架表面提供了均匀的基板温度,确保了被溅射在机器中的材料的稳定性。等离子体诊断工具(PDS)配备了在线碳氢化合物探测器和氢冷冻泵,能够准确控制腔室压力、气流和成分,有助于保持一致的薄膜性能和性能。Ceraus Z-1000还配备了高分辨率、高精度OptoScan分光光度计,为用户提供了对薄膜沉积的实时监控、内联光谱反射率和正常入射光学常数测量等一系列功能。总体而言,ULVAC Ceraus Z-1000是一项功能强大且用途广泛的资产,能够生产具有卓越质量和可靠性的先进薄膜元件。凭借其直观的图形用户界面、精确的球面校正基板支架以及集成的等离子体诊断模型,它在可靠、易于使用的平台上提供了一致的操作。
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