二手 ULVAC Ceraus Z-1000 #9198163 待售

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ULVAC Ceraus Z-1000
已售出
製造商
ULVAC
模型
Ceraus Z-1000
ID: 9198163
晶圆大小: 6"
Sputtering systems Process: METAL.
ULVAC Ceraus Z-1000是一种高精度溅射设备,设计用于对沉积过程的特殊控制。该系统可用于将有机或无机材料薄膜应用于各种类型的基材,用于各种工业用途。主要用于电子、汽车、医疗器械和光学元件的制造。Ceraus Z-1000的目标基底距离范围可达19英寸,并具有强大的120 kHz射频电源,允许精确、受控的沉积过程。车载电子控制多个目标和基板类型的正时和电源,以及样品的旋转角度和速度。这个单元还包括一个容积高达80升的真空室。这种大体积可以提高泵送速度,降低真空操作,并为高清晰度沉积结果提供极好的电阻率。ULVAC Ceraus Z-1000还包括多种配件,如气箱、带多个仪表的惰性气线、控制腔室压力的无油高真空泵和压力表。所有这些配件都可以一起使用,为不同类型的基材和目标材料创建多种工艺配方。再者,机器有一个内部发电机,可以用来制造偏置电压,可以加速溅射过程。偏压也可用于沉积后热处理,以改变薄膜层的性质。Ceraus Z-1000还具有高级数据收集和分析功能。此工具可以连接到可以在整个沉积过程中监视数据的软件。这样可以精确控制过程变量,确保一致和可靠的结果。此外,这一资产可以与光发射光谱仪配对,以便进行质量检查和即时调整。总体而言,ULVAC Ceraus Z-1000是一个特殊的模型,它提供了对溅射过程的精确控制。Ceraus Z-1000以其宽大的腔室尺寸、车载电子产品和配件,是那些希望将高品质薄膜层存放在多个行业中的人的理想设备。
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