二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #195210 待售
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ID: 195210
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Sputtering system, 8"
Process: 8" metal sputtering
Type: 7 bay (7 module attachable)
Structure:
RF Process module + DC Process
(3) Module
Heat treatment
TM (7 Angle)
(2) L/L
(2) Control rack
Features:
Target changeable
Module changeable
Parts list:
(3) TMP Shimadzu 1002 LM
(3) Controller EI-1002MA
(3) TMP Shimadzu 202 LM
(3) Controller EI-202MA
(3) DC Power Kyosan, 1000V, 50A
(4) Heater Power Hercules, 100V, 25A
(2) UPS Upaco7
Robot module
PC rack
Compressor: HE C30ZR
Cable and dry pump missing
2004 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000是一种通用的溅射设备,可为基于真空的沉积过程提供可靠的最终用户控制。这种沉积系统能够在有机物和无机物的材料上涂上薄薄的高性能薄膜。ULVAC CERAUS ZX 1000具有坚固的铸铝和陶瓷涂漆框架,使其具有很高的耐用性和稳定性。该设计包括一个全视窗,带有清晰的可见度观察窗口,符合工业环境中使用的国内和国际安全法规。可调参数可用于优化处理条件,如工艺时间、压力和温度。该装置的负载锁还有助于可重复的沉积运行,具有快速疏散、准确的目标存储以及用于部件卸载和装载的快速卡盘。Ceraus ZX-1000使用溅射,这是一种物理气相沉积(PVD)方法,它涉及从真空室内阴极目标释放的加速粒子。这些粒子加速到导致与气体分子碰撞的速度,形成一股中性原子和分子。高速溅射粒子与底物反应形成所需材料的薄膜。这种沉积机能够溅射金属、化合物和电路元件。可调参数可以控制沉积速率和薄膜厚度。CERAUS ZX 1000还具有温度控制功能,这对于高质量沉积和提高工艺效率至关重要。它能够在20°摄氏度至1000°摄氏度的范围内快速控制坡度温度,可在沉积循环过程中进行调整。该工具还带有压缩机、清洁空气干燥机和排气泵,用于排出反应产物。总之,ULVAC Ceraus ZX-1000是一种可靠、高质量的溅射资产,具有广泛的可调参数和过程控制能力。适用于各种需要优质薄膜涂层的PVD应用。
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